所示是反射式电感式接近传感器的工作原理框图。图中，由振荡回路产生的调制脉冲经反射电路后，由发光管gl辐射出光脉冲。当被测物体进入受光器作用范围时，被反射归来的光脉冲进入光敏三极管du。并在接收电路中将光脉冲解调为电脉冲信号，再经放大器放大和同步选通整形，然后用数字积分
光电开关
或rc积分方式排除干扰，*后经延时（或不延时）触发驱动器输出光电开关控制信号。光电开关一般都具有良好的回差特性，因而即使被检测物在小范围内晃动也不会影响驱动器的输出状态，从而可使其保持在不乱工作区。同时，自诊断系统还可以显示受光状态和不乱工作区，以随时监督光电开关的工作。
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